YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法
作者:标准资料网 时间:2024-04-30 10:01:02 浏览:8056
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基本信息
标准名称: | 硅片边缘轮郭检验方法 |
中标分类: | 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属 |
ICS分类: | 电气工程 >> 半导体材料 |
发布部门: | 中国有色金属工业总公司 |
发布日期: | 1992-03-09 |
实施日期: | 1993-01-01 |
首发日期: | |
作废日期: | |
提出单位: | 中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
起草单位: | 洛阳单晶硅厂 |
起草人: | 王从赞、夏光勤 |
出版日期: | 1993-01-01 |
页数: | 3页 |
适用范围
本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。
本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓.
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属 电气工程 半导体材料
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